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（1）尺寸形狀量測儀器（測量儀器）：表面精度儀、真圓度測定儀、輪廓測定儀、非球面形狀測定儀、非接觸2D形狀測定儀、3D形狀測定儀、全像3D形狀測定儀、電子水平儀、直準儀、數位量規、角度測定儀、編碼器、尺寸量測顯示、控制系統。（2）光電光通訊半導體相關設備：光學膜厚計、橢圓儀、離子式沉積及濺鍍系統、化學氣相沉積系統、奈米級拋光系統、超臨界二氧化碳乾燥設備、奈米級超臨界二氧化碳潔淨系統、雷射雕刻、切割、刻溝、鑽孔系統。（3）物理特性測試設備：微小馬達特性測定儀、馬達動力計、扭力計、引擎性能測試台、車輛底盤動力計、車速測試系統、油耗計、齒輪咬合試驗機、非接觸轉速計、噪音計、聲響特性測試儀、頻譜分析儀、振動測定儀、厚度計、光碟片機械特性測試儀、晶圓脫水機、標準電量檢校儀器。（4）光學及超精密加工設備。（5）化學設備及分析儀器。（6）工業儀錶。（7）自動控制監控系統。（8）物流環保相關設備及控制系統。

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